UV NIL

• 纳米压印（NIL）生产SRG光波导，良率损耗到底卡在哪些环节？

  在AR（增强现实）眼镜的产业链中，表面增强光栅（SRG）光波导被认为是实现消费级轻便设备的主流方案。而纳米压印（Nanoimprint Lithography, NIL）凭借其超越超紫外光刻（EUV）的分辨率潜力和极高的量产成本优势，成为...

  51 2026/4/27 纳米压印光波导增强现实

• 纳米压印的“长寿”之痛：ASL涂层在500次循环后失效的底层逻辑

  在纳米压印（NIL）工艺中，500次循环往往被视为实验室级ASL（防粘连涂层）与量产级涂层的一道分水岭。许多研发人员会发现，当模具压印次数接近或超过这个量级时，脱模力会显著增大，甚至出现严重的聚合物残留。 作为一种通常只有几纳米厚的自...

  37 2026/4/27 纳米压印材料科学半导体制造

• 超越全氟烷基硅烷：硬核盘点纳米压印（NIL）新型耐高温、高耐磨脱模材料

  在纳米压印（NIL）工艺中，脱模材料（Anti-Sticking Layers, ASL）的性能直接决定了模板的使用寿命和压印图形的保真度。 虽然全氟烷基硅烷（如 FOTS, FDTS）因其极低的表面能而成为业界标准，但它们的短板也非...

  43 2026/4/27 纳米压印材料科学半导体制造

• 纳米压印工艺深度解析：如何攻克大面积 UV-NIL 脱模时的吸附与破损难题？

  在微纳制造领域，UV 纳米压印（UV-NIL）被誉为实现高分辨率、低成本量产的“杀手锏”技术。然而，当工艺从实验室的小样片向 8 英寸、12 英寸甚至更大面积的基底迁移时，**“脱模（Demolding）”**往往会成为良率的噩梦。 ...

  45 2026/4/27 纳米压印UV-NIL半导体制造